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EUV 光罩檢測機 Aurora-E
EUV 光罩檢測機 Aurora-E
正面：微粒
膜面：微粒,破洞
EUV膜框：微粒
玻璃面：微粒
穿膜檢線路區：微粒
Feature

Pellicle side

Glass side

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