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  4. 設備-光罩
EUV 光罩檢測機 Aurora-E
EUV 光罩檢測機 Aurora-E
正面：粉塵
膜面：粉塵,破洞
EUV膜框：粉塵
玻璃面：粉塵
穿膜檢線路區：粉塵
Feature

Pellicle side

Glass side

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