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DUV 光罩檢測機 Aurora-D
DUV 光罩檢測機 Aurora-D
正面：粉塵
膜面：粉塵,刮傷,針孔
玻璃面：粉塵,刮傷,水痕,髒污
DUV膜框：粉塵
固定圖案：瑕疵
線路邊緣：針孔
Feature

Pellicle side

Glass side

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