DUV 光罩檢測機 Aurora-D
DUV 光罩檢測機 Aurora-D
正面:微粒
膜面:微粒,刮傷,針孔
玻璃面:微粒,刮傷,水痕,髒污
DUV膜框:微粒
固定圖案:瑕疵
線路邊緣:針孔
Feature

Pellicle side

Glass side