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服務項目

Our Service

光罩檢測機 Basic D-03FS
IMIA 線上光罩智能分析檢測
IWIA-CMP 線上晶圓智能分析檢測
IWIA 線上晶圓智能分析檢測
6"光罩自動上下料
光罩CD線寬量測-萊卡改造
CG AOI
COG AOI
CELL AOI
API
Mura AOI
晶圓檢測 AOI
EUV 光罩檢測機 Aurora-EL
EUV 光罩檢測機 Aurora-E
DUV 光罩檢測機 Aurora-D
光罩檢測機 Basic D-02OF
光罩檢測機 Basic D-02C
光罩檢測機 Basic D-02
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